Un tipo de variable MEMS inductancia del sensor de presión mediante el efecto magnetoestrictivo, incluyendo la unidad y la capacitancia de la unidad de matriz inductor. La unidad de matriz inductor incluye una unidad de bobina que tiene una pluralidad de series de electrodos anulares sobre el primer sustrato, y la correspondencia uno-a-uno para el electrodo anular de la película de material magnetoestrictivo se forma, se forma en paralelo a la distancia predeterminada de la relación sustrato primero un segundo sustrato para formar una película que tiene un material magnetoestrictivo es usado como la inductancia de la película de unidad de bobina de inducción magnetoestrictivo núcleos depende de la variación de la permeabilidad magnética de la presión externa, con el fin de cambiar la inductancia de la inductancia. La unidad de condensador y el inductor unidad de matriz constituye un circuito resonante LC, para el voltaje para convertir la liberación de energía magnética en la unidad de matriz inductor. El inductor variable de MEMS sensor de presión que tiene una excelente resolución, esto es debido a que es más sensible que el sensor convencional piezorresistivo o capacitivo, y la tecnología de procesamiento de MEMS para producir el procesamiento de semiconductores alternativa se puede utilizar, que puede ser minimizado y mayor procesado para reducir el coste de producción.
imanes ferrita Reclamo principal:
Un método de uso del efecto magnetoestrictivo de un sensor de presión inductor variable MEMS, que comprende: una unidad de matriz de inductancia, dicha unidad de inductor matriz que comprende: una unidad de serpentín, dicha unidad de bobina que tiene una pluralidad de series y formada sobre el sustrato primero electrodos anulares; película de material magnetoestrictivo, una película de material magnetoestrictivo se corresponden con el electrodo anular y está formado en un segundo sustrato hacia el sustrato primero en paralelo una distancia predeterminada para formar una película de material magnetoestrictivo Como la inductancia de los núcleos magnéticos de la unidad de bobina, cambiando de este modo los cambios inducidos en la permeabilidad de las películas magnetoestrictivos para ser usados ??de acuerdo con la presión externa a la inductancia de la bobina, y la célula de condensador, se utiliza para constituir un circuito LC resonante con la unidad de matriz de inductor, a fin liberar energía magnética de la unidad de matriz de inductor se convierte en un voltaje.
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